Литография в домашних условиях

Довольно интересный выпуск за 25 ноября на РБК

Ключевое - среди спикеров был и Анатолий Ковалёв, генеральный директор АО "ЗНТЦ"

Обсудили сроки перехода к технологической независимости по всей цепочке производства ЭКБ – оборудования, материалов и химии. Рассказали, как обстоят дела на практике, что необходимо для развития технологического суверенитета, импортозамещения в ИТ и телекоме

Минпромторг выделил 2,8 млрд руб. на разработку кластерной линии фотолитографии для изготовления интегральных схем на пластинах диаметром 200 мм

Тендер на эти работы был опубликован на портале госзакупок в конце ноября 2025 г.

Согласно техзаданию, к 31 октября 2030 г. в России должен быть создан опытный образец кластерной линии фотолитографии с концепцией объединения всех операций формирования фоторезистивной маски в едином комплексе

Она предназначена для обработки слоев фоторезиста в субмикронной литографии при изготовлении интегральных схем на пластинах диаметром 200 мм с топологическими нормами до 180-130 нм

Установка должна обрабатывать не менее 60 пластин в час, следует из техзадания, срок ее службы не должен быть менее 10 лет

В состав кластерной линии фотолитографии должен будет войти комплекс оборудования: блоки обработки, а также нанесения фоторезиста и антиотражающего покрытия, блоки проявления фоторезиста

Помимо этого, линия будет содержать блок термообработки, модуль загрузки и выгрузки пластин и т.д.

Комплектующие изделия и материалы, которые исполнители будут использовать, должны быть отечественного производства и обеспечивать отсутствие критической зависимости от иностранных производителей, подчеркивает ведомство в техзадании

Исполнитель также должен будет определить стоимость и сроки освоения серийного производства такой линии с учетом общего состояния рынка потенциальных потребителей

Проект предполагает разработку не самого литографа, а критически важного кластерного комплекса для всех подготовительных и заключительных операций с фоторезистом. Такая автоматизированная линия, объединяющая нанесение слоев, термообработку и проявление в единый герметичный контур, предназначена для резкого увеличения скорости обработки пластин, чистоты производства и снижения брака

Главный вызов заключается не в научном прорыве, а в достижении крайне жестких параметров точности и надежности на собственной элементной базе, что определит практическую ценность разработки для российских fabless

Эта машина является комплиментарной для разрабатываемых в России литографических установок, в том числе литографа для работы с нормами 130 нм, который сейчас разрабатывается

В целом эта работа позволит сформировать российскую связку «трек+литограф», которая является ядром технологического цикла производства микросхем

Вам нравится читать контент на этом канале?

Возможно, вы задумывались о том, чтобы купить на нем интеграцию?

Следуйте 3 простым шагам, чтобы сделать это:

1) Нажмите на ссылку: Вход
2) Пополняйтесь удобным способом
3) Размещайте публикацию

Если тематика вашего поста подойдет нашему каналу, мы с удовольствием опубликуем его.

Ученые из МФТИ и МГУ разработали технологию выращивания объемных кристаллов магнитных топологических изоляторов — перспективных материалов для создания квантовых компьютеров и энергоэффективной электроники

Методика позволяет получать кристаллы размером в несколько сантиметров с повышенной чистотой и стабильностью

Магнитные топологические изоляторы — уникальные материалы, которые проводят электрический ток только на своей поверхности, оставаясь изоляторами внутри

Эти свойства делают их идеальными кандидатами для создания квантовых процессоров и электроники нового поколения

Однако их широкому применению мешала фундаментальная проблема — инконгруэнтное плавление

Из-за него соединения распадаются на составляющие при нагреве, что делало невозможным выращивание крупных и качественных кристаллов традиционными методами

Российские ученые предложили инновационное решение — метод выращивания в условиях трехфазного равновесия

В отличие от традиционных подходов, где используется расплав строго определенного состава, новый метод поддерживает одновременное существование трех фаз: растущего кристалла, расплава и твердого высокоплавкого компонента, сообщили в пресс-службе МФТИ

Нам удалось разработать новый метод синтеза, использующий двухфазный источник в установке типа Бриджмена — стандартном оборудовании для выращивания кристаллов. Это классический пример того, как глубокое понимание фазовых диаграмм позволяет решить сложнейшую прикладную задачу — выращивание крупных однородных монокристаллов. Получение кристаллов сантиметрового размера с широкими террасами на поверхности скола — это прямое свидетельство высочайшего структурного качества. Такой подход не только решает проблему для целого семейства теллуридов, но и может быть адаптирован для выращивания других сложных многокомпонентных соединений с узкой областью первичной кристаллизации

Заведующий лабораторией фотоэлектронной спектроскопии квантовых функциональных материалов МФТИ Александр Фролов:

Особенно впечатляет успешное применение метода к четверным системам, таким как (Ge, Mn)Bi2Te4 и Mn (Bi, In)2Te4, где контроль стехиометрии традиционно крайне сложен. Продемонстрированный контроль над эффективным коэффициентом сегрегации и однородностью распределения катионов в твердом растворе открывает путь к направленному синтезу материалов с заданными электронными и магнитными характеристиками

По словам авторов работы, созданная технология открывает путь к созданию материалов с программируемыми свойствами, позволяя точно контролировать состав кристаллов, что критически важно для управления их магнитными и электронными характеристиками

Предложенный метод выращивания кристаллов в условиях перитектики позволяет получать массивные, высококачественные образцы магнитных топологических изоляторов, таких как MnBi2Te4, которые ранее были доступны лишь в виде тонких пленок или мелких кристаллов. Высокое структурное совершенство полученных кристаллов, подтверждённое данными ARPES и STM, открывает дорогу к детальным исследованиям квантовых аномальных и квантовых спиновых эффектов Холла в объёмном материале. Возможность управлять составом твёрдых растворов и, следовательно, положением уровня Ферми и магнитными свойствами, делает эту платформу идеальной для поиска новых экзотических квантовых состояний, таких как аксионный изолятор

Научно-исследовательские институты НИИМЭ и НИИТМ, входящие в группу компаний «Элемент», завершили создание первых в России кластерных систем для плазмохимического осаждения (ПХО) и травления (ПХТ)

Эти установки позволят производить интегральные микросхемы по топологическим нормам 65 нм на пластинах диаметром 200 мм и 300 мм

Институты вошли в число пяти мировых лидеров, обладающих компетенциями в создании и производстве такого оборудования

Основным исполнителем проекта выступил НИИМЭ, который обеспечил строительство чистых производственных помещений, монтаж и подключение опытных образцов оборудования, разработку технологических процессов и их испытания

НИИТМ, в свою очередь, стал основным соисполнителем, разработав само оборудование и приняв участие в проведении испытаний

Установки для уровня 65 нм на пластинах 300 мм обеспечат в том числе перспективную потребность отечественной микроэлектроники, отметил замминистра промышленности и торговли РФ Василий Шпак

По его словам, особую ценность представляет модульность платформы, поскольку она позволяет отрабатывать процессы на существующем оборудовании и служит основой для перехода к более тонким техпроцессам

В «Элементе» пояснили, что оборудование позволяет применять установки как на действующих, так и на планируемых производствах, где используются технологические нормы, реализованные на пластинах 200 мм

Генеральный директор НИИМЭ Александр Кравцов и гендиректор НИИТМ Михаил Бирюков отметили, что создание российских кластерных систем для ПХО и ПХТ станет ключевым этапом на пути к технологической самостоятельности отечественной микроэлектроники

PS
Если главред 3dnews не добавил окончание про 20 лет в заголовок, то Земля налетела бы на Небесную Ось и пришел конецЪ мiра, ну или жопа бы отвалилась - это совершенно понятно, иных объяснений быть и не может

Правительство ужесточило правила подтверждения российского происхождения запоминающих устройств (SSD) и модулей памяти (DDR)

Поправки внесены 8 декабря 2025 г. в приложение к Постановлению № 719 «О подтверждении производства российской промышленной продукции»

Теперь производители таких устройств смогут получать баллы за определенные технологические операции

Например, за корпусирование интегральной схемыф энергонезависимой флеш-памяти производитель получит 20 баллов, как и за корпусирование интегральной схемы центрального микроконтроллера

В два раза больше (45 баллов) можно будет получить за монтаж всех элементов электронной компонентной базы на печатную плату и сборку готового изделия

За запись в энергонезависимую память идентифицирующей информации для схемотехнического решения теперь дадут пять баллов и за функциональное тестирование готового изделия и проведение технического контроля соответствия требованиям технических условий готового изделия еще 10

Изменения вступают в силу 1 января 2026 г.

Производителям SSD с 1 января 2026 г. нужно будет набрать не менее 45 баллов; с 1 января 2028 г. — не менее 55 баллов; с 1 января 2030 г. — не менее 75 баллов

Для DDR определено чуть меньше баллов: с 1 января 2026 г. — не менее 45 баллов; с 1 января 2028 г. — не менее 60 баллов; с 1 января 2030 г. — не менее 70 баллов

Специалисты МГТУ имени Баумана, ВНИИА имени Духова госкорпорации "Росатом" создали и открыли доступ к облачной платформе, которая позволяет пользователям запускать алгоритмы и проводить опыты на квантовых сопроцессорах SnowDrop 4Q и SnowDrop 8Q и их программных эмуляторах

Облачная платформа Bauman Octillion - это новый инструмент изучения квантового мира с акцентом на практические применения. Мы последовательно расширяем линейку доступного железа - от четырех к восьми кубитам - впервые в российской квантовой индустрии. Мы приглашаем всех заинтересованных исследователей подключаться к нашему облаку и проводить опыты на реальных чипах, не покидая стен своих лабораторий

Разработанная специалистами МГТУ и ВНИИА имени Духова платформа предоставляет круглосуточный и постоянный доступ к квантовому сопроцессору SnowDrop 4Q, построенному на базе четырех сверхпроводниковых кубитов

Эта вычислительная машина способна осуществлять однокубитные и двухкубитные операции с очень высокой точностью, составляющей порядка 99,89% и 99,1%

Также в рамках платформы специалисты МГТУ в промежутке между 10 и 20 декабря предоставят научному сообществу тестовый доступ к новому квантовому сопроцессору, SnowDrop 8Q на базе восьми сверхпроводниковых кубитов с еще более высоким уровнем точности исполнения операций и считывания данных

Как ожидают физики, увеличение числа кубитов и повышение качества их работы позволит ученым проверить работу более сложных алгоритмов

Удвоение числа кубитов в процессоре SnowDrop 8Q привело к 16-кратному увеличению вычислительного пространства, поддерживаемого устройством, что существенным образом расширило потенциал его применения

Также ученые отмечают, что высокая точность квантовых операций позволит пользователям платформы сопоставлять результаты, полученные на двух разных чипах и проверять параметры работы сопроцессоров

Наша цель как разработчиков и алгоритмистов - перейти к полезным "квантам", когда научные группы всей страны смогут решать сложнейшие практические задачи с использованием вычислителей на новых физических принципах. Запуск нового восьмикубитного чипа с высокими точностями квантовых логических вентилей - важный шаг на пути к этому результату

Минпромторг отменил часть тендеров, которые критически необходимы для суверенной работы отечественных литографов

Так, министерство отменило тендер на освоение в России опытно-промышленного производства слитков фторида кальция монокристаллического для оптических элементов ультрафиолетовой фотолитографии за 1,6 млрд руб.

Тендер был размещен 25 ноября 2025 г. и отменен 1 декабря

Слитки фторида кальция монокристаллического применяются при изготовлении оптических элементов эксимерных лазеров с длиной волны 193 нм, входящих в состав высокоразрешающих фотолитографических установок, обеспечивающих производство изделий электронной компонентной базы (ЭКБ) с топологической нормой 90 нм и ниже

Министерство отменило и тендер на разработку технологии получения и постановки на производство монокристаллов тербий скандий лютеций алюминиевого граната за 400 млн руб.

Он нужен для изготовления поляризационного оптического изолятора (ячейки Фарадея), элемента лазерных систем, пропускающего свет только в одном направлении

Потребителями его являются изготовители лазерных систем и ячеек Фарадея: АО «НИИ «Полюс им. М.Ф. Стельмаха», ООО «АВЕСТА», ООО «ВПГ ЛАЗЕРУАН»

Внедрение разработанной технологии и организация производства такого материала позволит обеспечить создание отечественных лазерных систем современного уровня

Отменен был и тендер на разработку технологии изготовления порошков танталовых конденсаторных за 800 млн руб.

Материал нужен для изготовления анодов оксидно-полупроводниковых и оксидно-электролитических объемно-пористых танталовых конденсаторов

Пока наши производители для обеспечения функционирования, стабильности технических параметров при изготовлении оксидно-полупроводниковых конденсаторов используют танталовые порошки с высоким удельным зарядом зарубежного производства, отечественные материалы-аналоги с уровнем параметров и характеристик, соответствующих настоящим техническим требованиям, отсутствуют

Минпромторг оштрафовал дизайн-центр НТЦ «Модуль» на 53,4 млн руб. за просрочку освоения серийного производства процессора для построения бортовых вычислительных комплексов космических аппаратов нового поколения с элементами ИИ

Однако исполнитель собирается обжаловать претензию, т.к. задержка была вызвана санкциями и отсутствием в стране ключевых материалов для выполнения работ

«Модуль» должен был разработать управляющий процессор типа система-на-кристалле, содержащий интерфейсы для эффективного обмена данными с нейропроцессорами архитектуры NeuroMatrix и предназначенный для построения бортовых вычислительных комплексов космических аппаратов нового поколения с элементами ИИ

Министерство заключило контракт с НТЦ «Модуль» на эти работы в ноябре 2020 г.

Он должен быть завершен в декабре 2023 г. И ведомство уже штрафовало исполнителя на 46 млн руб. в апреле 2025 г. за срыв сроков

Работы проводятся в рамках программы «Развитие оборонно-промышленного комплекса»

ГК «Элемент» поставила дочерней структуре «Роскосмоса» «Российские космические системы» (РКС) испытательное оборудование – автоматическую камеру термоудара (АКТУ)

Об этом сообщил генеральный директор НИИ электронной техники (НИИЭТ, входит в ГК «Элемент») Павел Куцько

Это оборудование необходимо для проверки устойчивости электронно-компонентной базы (ЭКБ) к резким перепадам температуры

По словам Куцько, оборудование было изготовлено в соответствии с индивидуальным техзаданием РКС

В отличие от иностранных аналогов, работающих на дорогостоящих специализированных жидкостях, отечественное решение работает на этиловом спирте или жидком азоте в качестве хладагентов

Это позволит существенно сократить эксплуатационные расходы